一、设备用途
主要用于二氧化硅粉末高温下周期式纯化与烧结。二、设备组成部件及技术要求
1. 设备结构示意图(内置炉管传动机构,传动机构上放置一根石英管,石英管外包裹碳化硅/ 氮化硅复合管,防止高温造成石英管软化形变。传动机构至少可承载 80-100kg 重量,石英管尺寸图纸由我司提供,外径 300mm,壁厚 10mm,长度 1500mm)。
2. 设备结构标准
设备主要结构包括炉壳结构,炉膛结构、炉管结构,碳化硅滚轴传动结构,控制系统,加热控温系统结构及其他
表 1.设备结构要求
设备组成 | 基本要求 |
炉体结构 | 1. 炉壳具备较好耐温性,长期使用下炉壳不因高温变形,易于清理,颜 色搭配合理美观,油漆无起泡、挂漆现象; 2. 传动组件防护全面,避免安全风险,电气防护齐全;
3. 炉壳结构合理,避免设备局部部件(电气元件、铰链、卡扣等)长期 过热,影响使用寿命; 4.炉门开启需考虑作业便捷性,设计为翻盖式开合炉体,炉门开启角度 需要方便石英管放入和取出;并且尽可能提高密封性能,防止温场不均匀 5. 炉体上安装1个观察镜,以便观察石英管在内部转动状态; |
6. 在使用温度范围内,升温保温降温过程中炉壳表面温度≤45℃; | |
气体控制系统 | 1. 炉芯管的右端配备进气管道;炉管口配备抽风罩,防止气体泄漏。 2. 管内无需抽真空;配备流量计可控制各个气体流量值;进气流量设定范围 1~30L/min; 3. 配备压力保护,防止出气口堵塞、炉管内部压力过大。 4. 配备气体泄漏报警系统,防止气体泄漏; 5. 炉膛外侧焊接铁架,用以固定通气管。 |
炉膛结构 | 1. 炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料制作而成,取放物料易碰位置(炉口、炉底)采用轻质空心球氧化铝板,使用温度高,蓄热量小,耐急热急冷、不裂缝、不掉渣、保温性能好; 2. 采用三层保温,分别为:硅酸铝纤维板、氧化铝纤维板、氧化铝(多晶)纤维板 3. 炉膛内部穿插 2 根碳化硅滚轴; 4. 保温材料厚度考虑充分,避免漏热问题; |
炉管及滚轴结构 | 1. 炉管为带封盖的石英管,尺寸详见图纸;
2. 滚轴为碳化硅材质,两边焊接卡环或者做变径,用于固定炉管,防止在旋转式炉管左右移动,尺寸详见图纸;碳化硅滚轴需由设备供应商进行采购和组装; 3. 石英管为高耐温翻砂管,可以满足粉料翻动效果,避免粉料黏连结块; 4. 石英管放置在碳化硅/氮化硅复合管内,防止石英管高温情况下软化
形变。 |
回转传动结构 | 1. 炉体单侧设回转传动结构,带动两根碳化硅滚轴转动(两根碳化硅滚轴均为主动),碳化硅滚受力后带动内部石英管转动。传动方式需确保碳化硅滚轴径向受力小,避免因径向受力导致开裂,影响使 用寿命; 2. 电机配备变频电机,1-5r/min 变频电机可调,可设置正转反转; |
控制系统 | 1. 控温工艺可保存 5 条及以上,每条工艺内含 30 段及以上温度设置, 可以在线编辑; 2. 控温系统具备连续 PID 调节、热电偶失效报警、超温报警、设备实 |
时功率显示、温度补偿设置等功能,温度实时监测,具备温度曲线记录,历史数据导出; 3. 控制面板触屏式或键鼠式均可;
4. 设置功耗自动计算,自动计算每炉次耗电量; |
| 1. 炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料制作而成,取放物料易碰位置(炉口、炉底)采用轻质空心球氧化铝板,使用温度高,蓄热量 小,耐急热急冷、不裂缝、不掉渣、保温性能好。 |
| 1. 采用三层保温,分别为:硅酸铝纤维板、氧化铝纤维板、氧化铝(多
晶)纤维板,节能效果是老式电炉的 80%以上。 |
| 1. 长期使用不停炉,外壳温度小于 45 度 |
| 1. 采用集成化模块控制单元,控制精度准确,并设计了双回路控制和双回路保护,具备了过冲、超调、欠调、段偶、缺相、超压、超流、 超温、电流反馈、软启动等保护 |
| 1. 采用闭环技术可控硅模块触发控制,移相触发控制或者过零触发方式,输出电压、电流或功率连续可调,具有恒电压、恒电流或恒功率的特性;电流环为内环,电压环为外环,在突加负载或负载电流超过限流值时,限制调压器的输出电流在额定电流范围内,确保输出和调压器正常工作;同时电压环也参与调节,使调压器的输出电流被限制在额定电流范围内,在有充分调节余量的前提下维持输出电流及电压的恒定;从而到达保护发热元件避免过大电流、电压的 冲击,达到安全可靠的控制效果及控制精度。 |
| 1. 温度、温度段号、段时间、剩余时间、输出功率百分比、电压、电 流等 |
| 1. 采用进口按钮使用寿命超过 100000 次,并且带 LED 指示灯。 |
| 1. 采用智能温度控制仪,备标准 PID、人工智能调节 APID 或 MPT 等多种调节方式,具有自整定、自学习功能,无超调及无欠调的优良控制特性,具备 30 段程序控制功能,可实现任意斜率的升、降温控制,具有跳转(循环)、运行、暂停及停止等可编程/可操作命令, 并允许在程序的控制运行中随时修改程序;采用具备曲线拟合功能 的人工智能调节算法,能获得光滑平顺的曲线控制效果; |
加热控温系统 | 1. 满足长时使用温度 1250℃,最高使用温度 1300℃。工艺节拍为间歇式,室温升温→恒温 2~8h→降温至室温。 2. 升温速率可自由调节,调节范围:最快升温速率每分钟 10 度、最慢升温速率每小时 1 度(1 度/h) 3. 3 个及以上温区,温区长度需确保炉管均温区长度 1.3m 及以上,恒温阶段均温区内温场均匀性±5℃,控温精度±1℃。 4. 炉膛加热元件使用硅碳棒,四周或上下并联排布,单侧接线,方便安装更换; 5. 温控系统采用可控硅调压方式控温; 6. 测温热电偶使用 S 分度热电偶,单独设置一路热电偶,可用于恒温阶段间歇性测量石英管内均温区温度,标定温度补偿值; |
其他 | 1. 随设备提供设备配套安装需求(含水、电、气、地面等要求)1 份、合格证 1 份、设备说明书 1 份、操作说明书 1 份、电气图纸(电气原理图,进出线引入端子,端子要有注释)1 份、CAD 装配图 1 份、易损件清单(含价格)1 份、维护保养手册 1 份、标准件品牌型号清单 1 份、发货清单 1 份,设备出厂提供检测报告; 2. 电柜组件配置风扇降温散热,线路摆布疏密正常,禁止飞线、零散, 走线槽固定; 3. 随设备提供坩埚钳一把,高温手套一副; |
三、主要部件品牌要求
序号 | 主要配件 | 数量 | 品牌/厂家 | 备注 |
1. | 主要电气元器 件 | 1 套 | 施耐德、西门子 | |
2. | 触摸屏 | 1 套 | 西门子 | 10 寸 |
3. | PLC | 1 套 | 西门子 S7-1200 | |
4. | 热电偶 | 1 套 | 重庆大正或同等 | S 型热电偶 |
5. | 温控模块 | 1 套 | 厦门宇电、日本岛电或同等 | |
6. | 耐火保温材料 | 1 套 | / | |
7. | 炉体外壳 | 1 套 | / | |
8. | 调功器 | 1 套 | 四川英杰 |
四、电控系统
1、系统采用 S7-1200PLC+10 寸触摸屏联合控制。
2、所有技术参数均可在触摸屏上设定,至少可以查询最近一周的历史曲线,至少包含:电压、电流、温 度等关键数据。
3、设备具有通讯网口,可读取设备关键数据,厂家提供相应的协助来完成对设备的的关键数据读取。
4、配置急停按钮。
5、控制柜装有通风散热及自动照明装置。
6、电机能耗:1 级能耗。
7、每个温区设置控温热电偶和监视热电偶,两两配对,一个用于控制,一个用于监视。






