参数

项目

技术参数描述

结构型式

卧式双室内加热真空退火炉

均温区尺寸（W×H×L)

600×600×3200mm

最大承载能力（冷态，含料架）

1000kg（单室）

极限真空度带炉体

10^-4Pa（空炉、冷态）

压升率

≤0.67Pa/h

最高设计温度

900℃

工作温度

500～800℃

炉温均匀性

±5度（采用6点控制，达到更好的炉温均匀性）

控温精度

±1度（集成化电路控制，无超调现象）

测试温区

6区

升温速率

（真空，室温到800℃）

升降温速率可调节，调节范围：≤10℃/min

加热功率

200kW (380V-3-50Hz供电)

发热元件及布置

高温合金电阻加热棒，沿炉体长度方向排布

测温元件

K型热电偶，测温范围0-1320℃

炉体结构

采用了水冷炉体结构

炉门开启方式

侧开；气动锁紧，手动开闭

不锈钢反射屏加热室

不锈钢310S和304多层金属反射屏

加热区

加热区直径1.1m，长度3.5m

炉体外形尺寸（不含法兰）

直径1.6m ,长度4m